日立ハイテクノロジーズ

2017年10月17日

日立ハイテクノロジーズが高分解能FEB測長装置の累計出荷台数5,000台突破を発表

日立ハイテクノロジーズは10月17日、製造・販売する高分解能FEB測長装置（CD-SEM）の累積出荷台数が5,000台を突破したと発表した。同社のCD-SEMは1984年の発売以降、高画質像や高い計測性能が評価され、世界市場で80.6%というトップシェアを維持し続ける同社グループの基幹製品である。

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