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2018年10月17日
日立ハイテクノロジーズは10月17日、100%子会社で、分析装置を製造販売している日立ハイテクサイエンスが、光の干渉現象を利用し非接触・非破壊で三次元表面形状を計測するナノ3D光干渉計測システム「VS1800」の販売を開始すると発表した。
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