日立ハイテクノロジーズは2月21日、「最先端半導体微細パターンの高精度計測を実現する走査型電子顕微鏡の回路ノイズ相殺と帯電抑制技術の開発」について11月14日、公益財団法人電気科学技術奨励会が主催する「第66回電気科学技術奨励賞」において、「電気科学技術奨励賞」と「文部科学大臣賞」を日立製作所と共同で受賞したことを発表した。同開発は、半導体の微細パターンを計測する走査型電子顕微鏡の計測精度を向上する技術として、同社のCD-SEM「CG6300」などに搭載され、最先端の半導体デバイスの開発・製造に貢献している。