日立ハイテクノロジーズ

2019年12月11日

高分解能FEB測長装置「CG7300」を開発

日立ハイテクノロジーズは12月11日、高分解能FEB測長装置（CD-SEM）「CG7300」を開発したと発表した。「CG7300」は従来機種「CG6300」と共通のプラットフォームを用いながら高精度な計測性能とスループット向上を実現し、EUVプロセスによる5nm世代デバイスの量産や3nm世代デバイスの開発に対応可能な最新機種。EPE計測、CD/Roughness計測、オーバーレイ計測、低ダメージ計測など従来より定評のある計測性能を向上させ、微細化が進むEUVプロセス量産世代において、高精度で安定な計測を実現する。