日立ハイテクノロジーズ

2017年03月8日

日立ハイテクノロジーズが新型高速レビューSEMを販売開始

日立ハイテクノロジーズは3月8日、高速レビューSEM「CR6300」の発売を発表した。半導体製造過程にて生じた欠陥の発見・分類を行うレビューSEMの新製品であり、ステージの制御方式を改良し従来比3倍の高速化が図られており、複数の検出器を持つ新設計のカラムを搭載することで、豊富な情報量を生かした高感度な欠陥レビューが可能となっている。