日立ハイテクノロジーズ

2017年08月1日

日立ハイテクノロジーズが高性能FIB-SEM複合装置「ETHOS」を開発

日立ハイテクノロジーズは8月1日、高性能FIB-SEM複合装置「ETHOS」を開発したと発表した。「ETHOS」では新開発された電磁界重畳型レンズの採用により、サブナノメーター以下の高い観察性能を実現するとともに、FIBによるTEM用薄膜試料作製時の加工スジを抑制するACE技術を組み合わせることで高品位なTEM用薄膜試料作製が可能となっている。