豊田通商

2019年09月27日

関西学院大学と革新的な炭化ケイ素半導体ウエハー製造プロセスを共同開発

豊田通商は9月27日、学校法人関西学院と、次世代半導体材料であるSiC(炭化ケイ素)ウエハーの生産技術が抱える現場の課題を解決するため、革新的技術の共同開発を進めることを発表した。関西学院大学は、「グリーンモビリティ材料開発プロジェクト」を重点的に推進しており、SiCウエハー表面の原子配列を自律的に制御するナノ加工プロセスを開発し、その技術を保有。豊田通商と関西学院大学は、SiCウエハーの持つ課題解決のために、実用化レベルでのSiCウエハーのナノ加工プロセス技術の確立と、量産化に向けた製造プロセスの開発を推進していく。


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